臺(tái)式電鏡SEM，即掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)，是利用電子束掃描樣品表面，通過(guò)收集二次電子、背散射電子等信號(hào)來(lái)獲取樣品表面形貌、組成和結(jié)構(gòu)信息的顯微分析儀器，具有高分辨率、大景深、立體感強(qiáng)等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域。
 

　　基本工作原理是：電子槍發(fā)射出高速電子束，經(jīng)過(guò)電磁透鏡系統(tǒng)聚焦成直徑為納米級(jí)別的細(xì)束；電子束在掃描線(xiàn)圈的作用下按照一定規(guī)律掃描樣品表面，與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)；這些信號(hào)被探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大、處理后形成圖像。
 

　　臺(tái)式電鏡SEM的主要作用有以下幾點(diǎn)：
 

　　1.表面形貌觀(guān)察：可以清晰地觀(guān)察到樣品表面的微觀(guān)形貌，如顆粒形狀、大小、分布等。通過(guò)調(diào)整放大倍數(shù)，可以觀(guān)察到從納米到毫米級(jí)別的形貌特征。這對(duì)于研究材料的微觀(guān)結(jié)構(gòu)、性能以及制備工藝具有重要意義。
 

　　2.成分分析：通常配備有能譜儀(Energy Dispersive Spectrometer，EDS)等附件，可以在觀(guān)察形貌的同時(shí)對(duì)樣品進(jìn)行元素分析。通過(guò)測(cè)量樣品發(fā)出的X射線(xiàn)能量，可以確定樣品中的元素種類(lèi)及其含量。這對(duì)于研究材料的化學(xué)成分、相組成以及元素分布具有重要意義。
 

　　3.斷面觀(guān)察：可以對(duì)樣品的斷面進(jìn)行觀(guān)察，了解材料的層狀結(jié)構(gòu)、晶粒尺寸、缺陷等信息。這對(duì)于研究材料的斷裂機(jī)制、界面特性以及生長(zhǎng)過(guò)程具有重要意義。
 

　　4.表面粗糙度測(cè)量：可以通過(guò)對(duì)樣品表面的高度信息進(jìn)行測(cè)量，得到表面粗糙度的定量數(shù)據(jù)。這對(duì)于評(píng)價(jià)材料的摩擦性能、粘附性能以及涂層質(zhì)量具有重要意義。
 

　　5.三維重構(gòu)：通過(guò)對(duì)圖像進(jìn)行處理，可以重建出樣品的三維形貌，進(jìn)一步了解材料的微觀(guān)結(jié)構(gòu)。這對(duì)于研究復(fù)雜體系的微觀(guān)結(jié)構(gòu)、動(dòng)態(tài)過(guò)程以及功能特性具有重要意義。
 

　　6、納米尺度研究：具有較高的分辨率，可以實(shí)現(xiàn)納米尺度的觀(guān)察。這對(duì)于研究納米材料、納米器件以及納米技術(shù)的發(fā)展具有重要意義。